動態誤差的一個顯著特點就是其不可預測性。影響機器動態性能的因素很多,找到一個對所有這些因素實現預先標測的方法是不現實的,但是在大部分受限環境中,可以將這些影響因素進行如下分類:
影響測量機掃描循環過程中加速度輪廓的因素有:被測對象的屬性——大小、形狀和方向——決定測量機的運動路徑。掃描速度,確定在整個掃描過程中達到終掃描速度(注意,大部分掃描的初始速度為0,所以在整個掃描過程中,不可能一直保持這個速度)。
掃描機的伺服/電動機性能——決定加速到終掃描速度所需要的時間。“宏觀”位置——機器結構的剛度、動態性能,在測量機的整個工作范圍內發生變化,因此被測對象上測量點的位置是一個影響很大的因素。測量機工作狀態——軸承和驅動系統的狀態這有可能成為掃描過程中出現“溢出”的根源。
盡管無法預測,秀山蔡司三坐標,但這些動態誤差是重復的。意味著如果滿足一定的條件,對這些誤差進行補償是可行的。
TP是接觸式結構三維測頭,由測頭體、測桿、導線組成。測頭體內部結構如下圖所示,這是一個彈簧結構,彈力大小即測力。由3個小鐵棒分別枕放在2個球上,在運動位置上形成6點接觸。在接觸工件后產生觸發信號,并用于停止測頭的運動。在測桿與工件接觸之后,再離開時彈簧把測桿恢復到原始位置。測球恢復位置精度可達到1um。TP是接觸式測頭,其功能是在測尖接觸表面的瞬間產生一個觸發信號,因此其內部為一微開關電路。測頭體與測桿內部彈簧結構連接,在復位狀態(未接觸表面)電路導通。一旦測尖接觸表面,測桿偏離復位狀態,電路截止,形成一個觸發信號。在此瞬間可以記錄各個坐標位置,從而實現對工件測量。對于CMM測量機,影響測量精度的測頭性能參數為:測力、測量速度、測桿長度和測量方向。測頭的測力(和測桿連接彈性元件的預緊力)與測量精度有關,蔡司三坐標精度校準,測力越小,精度越低,測力越大,精度越高,測力大小可以調節。測頭的輸出和測量速度也有一定的關系,測速應限定在一定范圍內。TP測頭測量速度范圍為5~30mm/s,蔡司三坐標校準,并應保持測量速度均勻,蔡司三坐標回收,以保證測量精度。測桿長度,由于測桿具有重量,測桿增長時,相當于重力增大,從而對測頭精度產生影響。所以,在微米級范圍應使用短測桿,在0.01mm可以使用加長桿。測量方向,測頭雖然可以在周向360o測量,通常,測量方向與測量表面的法線的方向不應超過+45o。因此,對給定的待測量面型,測尖方向應隨表面曲率變化而變化。
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